半导体生产车间
  

在洁净厂房中,如何避免静电事故发生?如何防止静电进入洁净厂房已成为评价其质量的一个重要方面。净化车间不仅要检讨分析人车路径、配管系统、排气管道、原料搬运和作业的流程等,尽量缩短动线,并避免交叉,以防止交叉污染。更要重视防静电装修问题。

在电子工业洁净厂房中的静电危害主要表现在:

1.吸附灰尘。由于静电吸附作用,洁净室内空气微粒吸附在电子元器件表面和墙壁表面,影响产品质量和洁净度。静电也成为洁净室新的发尘源。

2.诱发火灾与爆炸。电子工业洁净室中会大量使用易燃易爆气体、液体和有机溶剂,静电会成为这些气(液)体和溶剂的引火源,引起火灾或爆炸。 

3.电晕放电,或火花放电,发出噪声,干扰电子设备和电子元器件。

4.产生静电电场,使电子元器件短路、疲劳或破损。

常规装修公司除了对有洁净要求的工程中系统架设没有经验外,对静电控制更是经验有限,所以这类工程必须由有相关资质的设计及建设单位来完成。言信对洁净厂房防静电环境中,防静电建设做相关整理描述。

1.防静电地面的面层结构和材料应符合下列要求:

1 )防静电地面面层的选择,应满足电子产品生产工艺的要求;

2)防静电地面的表层应用静电耗散性材料,静电耗散性材料表面电阻率应为2.5×104~1×109Ω;防静

3)地面应设置导静电泄放设施和接地连接,地面对地泄放电阻值应1×1051×108Ω。

2. 洁净厂房防静电环境的吊顶、墙面和柱面的装饰设计,应符合下列要求:

1)一级防静电工作区的地面、墙面和柱面应采用导静电型。导静电型地面、墙面、柱面的表面电阻、对地电阻应为2.5×104~1×106Ω,摩擦起电电压不应大于100V,静电半衰期不应大于0.1s.

2)二级防静电工作区的地面、墙面、柱面、顶棚、门和软帘应采用静电耗散型。静电耗散型地面、墙面、柱面和顶棚、门的表面电阻、对地电阻应为1×106~1×109Ω,摩擦起电电压不应大于200V,静电半衰期不应大于1s,但软帘的摩擦起电电压不应大于300V;

3)三级防静电工作区的地面、墙面和柱面宜根据生产工艺要求采用静电耗散型材料或低起电材料,顶棚、门等宜采用低起电材料。选用静电耗散型材料的地面、墙面和柱面,应符合本条第2款的要求;选用低起电材料的地面、墙面、柱面、顶棚、门等的摩擦起电电压不应大于1000V。

3 .洁净厂房防静电环境的门窗设计,应符合下列要求:

1)应选用静电耗散材料制作门窗或采用耗散材料贴面;

2)金属门窗表面应涂刷静电耗散性涂层,并应接地;

3)室内隔断和观察窗安装大面积玻璃时,玻璃表面应粘贴静电耗散性透明薄膜或喷涂静电耗散性涂层。

4. 洁净厂房防静电环境的装修设计应符合下列要求:

1) 各类装修材料应具有表面静电耗散性能,不得使用未经表面改性处理的高分子绝缘的装饰材料;

2) 各类装修的饰面应平整光滑。

5. 洁净厂房防静电环境的净化空调系统送风口和风管,应选用导电材料制作,并应接地。

6.洁净厂房防静电环境的净化空调系统、各种配管使用部分绝缘性材质时,应在其表面安装金属网,并应将其接地。当使用导电性橡胶软管时,应在软管上安装与其紧密结合的金属导体,并应采用接地引线与其可靠连接接地。

7. 洁净厂房防静电环境中,应根据生产工艺的需要设置静电消除器、防静电安全工作台。

气流的流动,气流和管道、风口、过滤器等摩擦,人体和衣服的摩擦,衣服之间的摩擦,工艺上的研磨,喷涂、射流、洗涤、搅拌、粘合和剥离等操作都可能产生静电,静电只要产生及积累就容易发生静电事故。因为光电制造行业本身的工艺就是产生静电和积聚静电的温床。所以言信在这类厂房建设的时候将防静电作为洁净工程最重视内容去对待。只有在设计装修之初做好相应措施,在后期使用过程中,企业做好对生产流程的完善梳理(工人着防静电工作服/鞋,生产过程中使用静电消除器、生产所需仪器接地线、设置装防静电测试台等)就可以很好地规避静电危害隐患。

 

附:电子生产车间防静电技术指标   

1.防静电地极接地电阻<10Ω。

2.地面或地垫:表面电阻值105-1010Ω;摩擦电压<100V。

3.墙壁:电阻值5×104-109Ω。

4.工作台面或垫:表面电阻值106-109Ω;摩擦电压<100V;对地系统电阻106-108Ω。

5.工作椅面对脚轮电阻106-108Ω。

6.工作服、帽、手套摩擦电压<300V;鞋底摩擦电压<100V。

7.腕带连接电缆电阻1MΩ;佩带腕带时系统电阻1-1OMΩ。脚跟带(鞋束)系统电阻0.5×105-108Ω。

8.物流车台面对车轮系统电阻106-109Ω。

9.料盒、周转箱、PCB架等物流传递器具一表面电阻值103-108Ω;摩擦电压<100V。

10.包装袋、盒摩擦电压<100V。

11.人体综合电阻106-108Ω。